上海半导体制造设备 **咨询 上海百雅信息科技供应

半导体检测设备：主要用于检测产品在生产过程中和产成后的各类性能是否达到设计要求。检测种类繁多，客户需求多样化，因此检测设备往往存在非标定制化的特点。本篇报告主要从半导体检测领域切入，详细分析在半导体生产过程中检测的各个科目及其重要性。相对于光刻等前道设备，检测设备的制造难度相对低一些，但是也存在较高的推广难度。目前**半导体检测设备行业已经形成了泰瑞达、爱德万两家垄断的局面，国内的长川科技、北京华峰，上海半导体制造设备，上海半导体制造设备、华兴源创等公司正在寻求从各自的细分领域突破，上海半导体制造设备，逐渐进行进口替代，目前已取得一定的进展。半导体检测设备：前道量检测设备的下游客户是晶圆代工厂，在该领域内科磊以52%的市场份额稳坐一把交椅。上海半导体制造设备

半导体检测设备产业趋势：整合并购。整合并购有三种，一是平行整并，如Advantest和Verigy，它们是很好的契合，Advantest以Memorytest为主，Verigy以logictest为主，二者的整并使他们能够很好的扩展市场；二是垂直整并，如Teradyne和UniversalRobots；三是全向整并，如LTX+Credence+Multitest+ECT，将较全的上下游及左右整并起来。统占服务。不只从现有的地位去看自己，而是统包上下游的产品与服务，目前做的较好的是Teradyne。这是很重要的一个策略，因为在一个领域做强了之后可以利用这种强势来引导客户购买自己的周边配件，然后让客户更难脱离你。上海半导体制造设备半导体检测设备：薄膜的质量是**产品较终良率的关键。

半导体检测设备：前道量检测分类及主要技术。前道量测、检测均会用到光学技术和电子束技术，但是两种技术在量测与检测下各具不同的特点。光学量测通过分析光的反射、衍射光谱间接进行测量，其优点是速度快、分辨率高、非破坏性，但缺点是需借助其他技术进行辅助成像；电子束量测是根据电子扫描直接放大成像，其优点是可以直接成像进行测量，但缺点是速度慢、分辨率低，而且使用电子束进行成像量测操作时需要切割晶圆，因此电子束量测具有破坏性。光学检测是通过光信号对比发现晶圆上存在的缺陷，其优点是速度快，但缺点是无法呈现出缺陷的具体形貌；而电子束检测可以直接呈现缺陷的具体形貌，但是该方法在精度要求非常高的情况下会耗费大量的时间。在实际的芯片制造过程中，光学技术与电子束技术常常被结合使用，比如检测环节一般先采用光学检测定位缺陷位置，再使用电子束检测对缺陷进行**扫描成像，两种技术的结合使用可以提高量检测的效率，并降低对芯片的破坏性。

半导体检测设备：政策支持带动国内企业突围，大力支持封测行业发展。为了推动国产设备突围，我国启动了“02专项”以及成立地区产业大基金，其中“02专项”全方面的对半导体设备行业进行了扶植，一期**在制造，晶圆代工28nm和存储是关键：制造的投资额占比为65%、设计占17%、封测占10%、装备材料占8%。2018年5月，工信部发言人指出地区大基金*二期正在募集，预计再有**过千亿的资金进入集成电路产业。尤其针对封测行业，地区几乎每年出政策推进，通过税收改善、基金投资等方式**企业突围。半导体检测设备：集成电路芯片的生产主要分为IC设计、IC前道制造和IC后道封装测试三大环节。

半导体检测设备：探针台的发展历史可以追溯到上世纪60年代，经历了多年的技术耕耘，该行业如今主要为东京精密（Accretech）、东京电子（TokyoElectronLtd）与伊智（Electroglas）三家公司所垄断。虽然国内厂商近几年奋起直追，但是在设备的关键技术方面仍与国外先进厂商存在较大的差距，未来国产设备公司将会有很大的增长空间。未来探针台发展方向：增加测试标的&较少晶圆测试损伤测试品种增多。早期的探针台主要针对一些分立器件进行测试，测试精度要求不是很高。随着信息化技术的发展其产品测试已经扩展到SOC等领域，预期在未来工艺的推动下，会有针对更加先进产品的探针台不断问世。微变形接触技术。晶圆是**值产品，所以在操作过程中尽量避免出现任何损坏晶圆的可能性。测定晶圆制造过程中薄膜厚度、膜应力、掺杂浓度、关键尺寸。上海半导体制造设备

半导体检测设备：检测设备已经可以与光刻、刻蚀等设备的精度保持同步发展。上海半导体制造设备

半导体检测设备：设计验证主要检测芯片样品功能设计，在生产前进行。设计验证针对的是芯片样品，主要工作是检测芯片设计的功能是否能够达到客户要求，在检测过程中会对芯片样品逐一检查，只有通过设计验证的产品型号才会开始进入量产，由于其发生在芯片制造较早环节，性价比相对较高，可为芯片批量制造指明接下来的方向。设计验证过程中需要使用全部半导体测试设备。由于设计验证的特殊功能定位，其过程包括了整个芯片的制造流程，所需测试设备也包含了过程工艺检测过程中的光学设备等、晶圆检测中的探针台等以及较终检测过程中的分选机、测试机等。上海半导体制造设备

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